一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关

发明专利有效专利

申请号：
CN201811066882.6
IPC分类号：H01H35/14;H01H1/00
申请日期：
2018-09-13
申请人：
中国工程物理研究院电子工程研究所

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专利名称	一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关
申请号	CN201811066882.6	申请日期	2018-09-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-18	公开/公告号	CN109243912A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01H35/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01H 电开关；继电器；选择器；紧急保护装置（接触电缆入H01B7/10；电解式自断续器入H01G9/18；紧急保护电路装置入H02H；无触点电子开关入H03K17/00） H01H35/00 由物理状态的变化操作的开关（磁场或电场变化操作的入H01H 36/00；热动作开关入H01H 37/00） H01H35/14 由加速度的变化操作的开关，例如由冲击和振动操作的开关、惯性开关	IPC分类号	H;0;1;H;3;5;/;1;4;;;H;0;1;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院电子工程研究所	申请人地址	四川省绵阳市绵山路64号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院电子工程研究所	当前权利人	中国工程物理研究院电子工程研究所
发明人	陈余;杨婷婷;李小石;杜亦佳
代理机构	北京高沃律师事务所	代理人	程华

摘要

本发明公开了一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关。包括：开关外壳、双稳态机构和开关辅助机构，开关辅助机构和双稳态机构在加速度方向上依次设置在开关外壳内部，开关辅助机构包括弹簧体和第一质量块，双稳态机构包括三段式梁结构和第二质量块，开关外壳在与第二质量块相对位置处设置有开关触点，第一质量块与第二质量块相对设置，第一质量块的质量大于第二质量块的质量，MEMS惯性开关在受到设定加速度时，第一质量块在惯性的作用下，碰撞第二质量块，使第二质量块沿加速度方向运动，双稳态机构由一种稳态到另一种稳态，按压所述开关触点，导通电路。本发明提供的MEMS惯性开关具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强和抗机械振动能力强的优势。

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