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三维超高真空位移台

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920011035.X
  • IPC分类号:G01N1/36
  • 申请日期:
    2009-02-27
  • 申请人:
    大连齐维科技发展有限公司
著录项信息
专利名称三维超高真空位移台
申请号CN200920011035.X申请日期2009-02-27
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N1/36IPC分类号G;0;1;N;1;/;3;6查看分类表>
申请人大连齐维科技发展有限公司申请人地址
辽宁省大连市高新园区火炬路35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人大连齐维科技发展有限公司当前权利人大连齐维科技发展有限公司
发明人郭方准
代理机构大连科技专利代理有限责任公司代理人于忠晶
摘要
本实用新型涉及真空设备。三维超高真空位移台,X向位移板与Y向位移板之间滑动连接,X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接,并分别装有X向和Y向调整装置,X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接,波纹管另一端与法兰盘焊接,法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。本实用新型实现在超高真空环境下的三维立体驱动,Z向采用焊接波纹管密封,达到放出气体少的要求,中空构造,可向超高真空中导入各种要素,并使得Z方向直线驱动顺畅,X、Y向采用直线滑轨,使得X、Y向驱动顺畅,X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制。

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