一种直线驱动装置及应用该装置的半导体处理设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201010532049.3
IPC分类号：B66F3/00;B66F3/24;B66F3/44;F16J15/52;H01L21/67;H01L21/00
申请日期：
2010-10-29
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	一种直线驱动装置及应用该装置的半导体处理设备
申请号	CN201010532049.3	申请日期	2010-10-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-23	公开/公告号	CN102464278A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B66F3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B66 卷扬；提升；牵引 B66F 不包含在其他类目中的卷扬、提升、牵引或推动，如把提升力或推动力直接作用于载荷表面的装置（支撑在柱基或类似支承物上的人工岛入E02B 17/00；与提升装置结合的脚手架入E04G 1/22，E04G 3/28；滑行提升装置入E04G 11/24；建筑物的提升入E04G 23/06；支柱或支撑入E04G 25/00；在电梯上的提升或其他卷扬装置入E06C 7/12；矿用顶柱入E21D 15/00） B66F3/00 用于连续地提升载荷的装置，如千斤顶（修理汽车用的千斤顶入B66F 5/00）	IPC分类号	B;6;6;F;3;/;0;0;;;B;6;6;F;3;/;2;4;;;B;6;6;F;3;/;4;4;;;F;1;6;J;1;5;/;5;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	刘旭;赵晋荣;徐宪军;赵梦欣
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	张天舒;陈源

摘要

本发明提供一种直线驱动装置，其包括相互连接的中心轴、安装连接部、波纹管、导向连接部、直线动力源以及支撑杆；其中，中心轴在导向连接部及支撑杆的配合作用下进行高精度的直线往复运动，波纹管则用于使中心轴所处的密闭腔室与外界保持密封。由于上述支撑杆及导向连接部均被波纹管隔离在密闭腔室的外部而不会与密闭腔室发生相互影响，从而可有效避免导向部件的润滑物对密闭腔室造成污染的问题，同时也可避免密闭腔室内的高温及真空环境对导向部件的精度及使用寿命产生影响的问题，因而使本发明提供的直线驱动装置具有导线精度高及使用寿命长的优点。此外，本发明还提供一种应用上述直线驱动装置的半导体处理设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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