一种真空精密位移装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210160407.1
IPC分类号：G01N1/36
申请日期：
2012-05-22
申请人：
中国科学院物理研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种真空精密位移装置
申请号	CN201210160407.1	申请日期	2012-05-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-12-04	公开/公告号	CN103424303A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/36 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20） G01N1/36 样品的放入或类似的安装〔6〕	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;3;6查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	郭晓东;谢楠;颜世超;宫会期;单欣岩;郭阳;陆兴华
代理机构	北京泛华伟业知识产权代理有限公司	代理人	蔡民军

摘要

本发明提供一种真空精密位移装置，包括：底法兰(1)；顶法兰(2)；连接二法兰的波纹管(7)；用于安装顶法兰(2)的位移台(3)，顶法兰(2)能够相对位移台(3)平动；用于驱动顶法兰(2)的运动机构，其包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)。第一运动装置(5)能够使顶法兰(2)相对位移台(3)平动，第二运动装置(6)能够使位移台(3)相对底法兰(1)纵向运动。其中，第二运动装置(6)连接底法兰(1)与位移台(3)并且至少有两组，它们以大致均匀间隔的方式设置在底法兰(1)上，在使位移台(3)运动的同时支撑位移台(3)。这种位移装置具有结构简单，占用面积小，成本低，力学性能较好的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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