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一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410122981.7
  • IPC分类号:H01L29/786;H01L29/10
  • 申请日期:
    2014-03-28
  • 申请人:
    南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
著录项信息
专利名称一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法
申请号CN201410122981.7申请日期2014-03-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2014-06-25公开/公告号CN103887345A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/786
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;9;/;1;0查看分类表>
申请人南京中电熊猫液晶显示科技有限公司申请人地址
江苏省南京市南京经济技术开发区恒谊路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京中电熊猫液晶显示科技有限公司当前权利人南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
发明人严光能
代理机构南京天华专利代理有限责任公司代理人夏平
摘要
本发明公开了一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法,包括衬底基板,衬底基板上依次设有栅极、栅极绝缘层和半导体有源层,半导体有源层位于栅极两侧位置分别设有源极和漏极,源极和漏极之间为导电沟道,半导体有源层包含依次覆盖在栅极绝缘层上阻值为R1的第一氧化物薄膜、阻值为R2的第二氧化物薄膜和阻值为R3的第三氧化物薄膜,第三氧化物薄膜源极和漏极位置阻值为R4,R4由特殊工艺减小第三氧化物薄膜的源极和漏极位置阻值得到,R1及R3的阻值均大于R2。保护绝缘层覆盖在除源极和漏极位置的半导体有源层上;金属层覆盖源极和漏极;本发明通过改变传统的半导体氧化物薄膜固定电阻为渐变电阻,从而实现减小漏电流,提高了器件稳定性。

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