一种用于长晶设备的水循环冷却装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022082751.6
IPC分类号：C30B23/00;C30B25/00;F25D17/02
申请日期：
2020-09-22
申请人：
江苏元素六钻石科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于长晶设备的水循环冷却装置
申请号	CN202022082751.6	申请日期	2020-09-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B23/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B23/00 冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;3;/;0;0;;;C;3;0;B;2;5;/;0;0;;;F;2;5;D;1;7;/;0;2查看分类表>
申请人	江苏元素六钻石科技有限公司	申请人地址	江苏省南通市如皋市城南街道电信东一路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏元素六钻石科技有限公司	当前权利人	江苏元素六钻石科技有限公司
发明人	吴志亮;梁维
代理机构	北京汇信合知识产权代理有限公司	代理人	孙腾

摘要

本实用新型涉及一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，其内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；其特征在于，所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵；冷却效果好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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