用于大气压力等离子体发射装置的新电极和使用它的方法

1、一种等离子体发射装置，包括：
第一介质；
靠近所述第一介质设置的一个第一电极，所述第一电极处于第一电压 电位；和
处于不同于第一电压电位的第二电压电位以便产生等离子体放电的 第二电极，所述第二电极允许等离子体放电通过它。
2、根据权利要求1的等离子体发射装置，其中所述第二电极是包括 其间设置导电层的两个介质层的叠层，至少一个孔限定在所述叠层中， 介质套管设置在每个相应孔中，并在套管中限定孔洞。
3、根据权利要求2的等离子体发射装置，其中所述第一介质具有贯 穿其限定的至少一个毛细管。
4、根据权利要求3的等离子体发射装置，其中所述第一介质相对于 所述第二介质设置，使每个毛细管的中心与每个相应孔洞的中心基本对 准。
5、根据权利要求1的等离子体发射装置，其中所述第二电极是基本 上彼此平行设置并固定在框架中的多个单向导线。
6、根据权利要求5的等离子体发射装置，其中所述第一介质具有贯 穿它限定的至少一个槽。
7、根据权利要求6的等离子体发射装置，其中所述第一介质相对于 所述第二电极设置，使得每个槽大致设置在两个相邻导线之间的中心。
8、根据权利要求1的等离子体发射装置，其中所述第二电极是基本 上彼此平行设置并固定在框架中的多个单向导电板条。
9、根据权利要求8的等离子体发射装置，其中所述第一介质具有贯 穿它限定的至少一个槽。
10、根据权利要求9的等离子体发射装置，其中所述第一介质相对于 所述第二电极设置，使得每个槽大致设置在两个相邻导电板条之间的中 心。
11、根据权利要求1的等离子体发射装置，其中所述第二电极是在基 本垂直结构中交织以形成格栅的多个双向导线，所述双向导线固定在框 架中。
12、根据权利要求11的等离子体发射装置，其中所述第一介质具有 贯穿它限定的至少一个毛细管。
13、根据权利要求12的等离子体发射装置，其中所述第一介质相对 于所述第二介质设置，使得每个毛细管的中心与通过双向导线的重叠形 成的每个正方形的中心大体对准。
14、根据权利要求1的等离子体发射装置，其中所述第二电极是在基 本垂直结构中交织以形成格栅的多个双向导电板条，所述双向导电板条 固定在框架中。
15、根据权利要求14的等离子体发射装置，其中所述第一介质具有 贯穿它限定的至少一个毛细管。
16、根据权利要求15的等离子体发射装置，其中所述第一介质相对 于所述第二介质设置，使得每个毛细管的中心与通过双向导电板条的重 叠形成的每个正方形的中心大体对准。
17、根据权利要求1的等离子体发射装置，还包括设置在所述第一和 第二介质之间的间隔器，使第二介质相对于所述第一介质隔开预定距离。
18、一种等离子体发射装置，包括：
第一介质，它具有贯穿它的一个孔
靠近所述第一介质设置的第一电极；和
在所述第一介质的外周边的至少一部分周围设置的一个第二电极，所 述第一和第二电极处于不同的电压电位，以便产生等离子体放电。
19、根据权利要求18的等离子体发射装置，其中所述第一电极是至 少部分地插入孔中的针，并且所述第二电极是由设置在所述第一介质周 边周围的导电材料构成的垫圈。
20、一种等离子体发射装置，包括：
外壳；
设置在所述外壳内的第一介质；
靠近所述第一介质设置的第一电极；
具有第一表面和相反的等离子体出射表面的第二电极，所述第一表面 面向所述第一电极，所述相反的等离子体出射表面形成所述外壳的一个 表面的至少一部分，第一和第二电极处于不同的电压，以便产生从所述 第二电极的等离子体出射表面发射的等离子体放电。
21、一种使用等离子体发射装置产生等离子体放电的方法，该装置包 括第一介质、靠近所述第一介质设置的第一电极和第二电极，第一和第 二电极处于不同电压，所述方法包括以下步骤：
产生通过所述第二电极的等离子体放电。
22、根据权利要求21的方法，其中所述产生步骤包括在所述第一和 第二电极之间施加不同电位电压的差，以便产生等离子体放电。
23、根据权利要求21的方法，其中所述第二电极是包括其间设置导 电层的两个介质层的叠层，至少一个孔限定在所述叠层中，并且介质套 管设置在每个相应孔中，并在套管中限定孔洞。
24、根据权利要求23的方法，其中所述第一介质具有贯穿其限定的 至少一个毛细管。
25、根据权利要求24的方法，其中所述第一介质相对于所述第二介 质设置，使每个毛细管的中心与每个相应孔洞的中心基本对准。
26、根据权利要求21的方法，其中所述第二电极是基本上彼此平行 设置并固定在框架中的多个单向导线。
27、根据权利要求26的方法，其中所述第一介质具有贯穿它限定的 至少一个槽。
28、根据权利要求27的方法，其中所述第一介质相对于所述第二电 极设置，使得每个槽大致设置在两个相邻导线之间的中心。
29、根据权利要求21的方法，其中所述第二电极是基本上彼此平行 设置并固定在框架中的多个单向导电板条。
30、根据权利要求29的方法，其中所述第一介质具有贯穿它限定的 至少一个槽。
31、根据权利要求30的方法，其中所述第一介质相对于所述第二电 极设置，使得每个槽大致设置在两个相邻导电板条之间的中心。
32、根据权利要求31的方法，其中第二电极是在基本垂直结构中交 织以形成格栅的多个双向导线，所述双向导线固定在框架中。
33、根据权利要求32的方法，其中所述第一介质具有贯穿它限定的 至少一个毛细管。
34、根据权利要求33的方法，其中所述第一介质相对于所述第二介 质设置，使得每个毛细管的中心与通过双向导线的重叠形成的每个正方 形的中心大体对准。
35、根据权利要求21的方法，其中所述第二电极是在基本垂直结构 中交织以形成格栅的多个双向导电板条，所述双向导电板条固定在框架 中。
36、根据权利要求35的方法，其中所述第一介质具有贯穿它限定的 至少一个毛细管。
37、根据权利要求36的方法，其中所述第一介质相对于所述第二介 质设置，使得每个毛细管的中心与通过双向导电板条的重叠形成的每个 正方形的中心大体对准。
38、根据权利要求21的方法，还包括设置在所述第一和第二介质之 间的间隔器，使第二介质相对于所述第一介质隔开预定距离。
39、根据权利要求21的方法，其中所述第一介质具有贯穿它限定的 孔，所述第一电极靠近所述第一介质设置，并且所述第二电极设置在所 述第一介质的外周边的至少一部分周围。
40、根据权利要求39的方法，其中所述第一电极是至少部分地插入 孔中的针，并且所述第二电极是由设置在所述第一介质周边周围的导电 材料构成的垫圈。
41、根据权利要求21的方法，其中所述第二电极具有面向所述第一 电极的第一表面和相反等离子体出射表面。
42、根据权利要求41的方法，还包括使等离子体放电通过所述第二 电极的等离子体出射表面。
43、根据权利要求42的方法，还包括设置该等离子体发射装置，使 所述第二电极的出射表面靠近被处理表面。
44、根据权利要求42的方法，还包括设置该等离子体发射装置，使 所述第二电极的出射表面与被处理表面直接接触。

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