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产生用于对衬底表面图案化的等离子体放电的设备和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201080065601.0
IPC分类号：H05H1/24;C23C14/04
申请日期：
2010-02-17
申请人：
视觉动力控股有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	产生用于对衬底表面图案化的等离子体放电的设备和方法
申请号	CN201080065601.0	申请日期	2010-02-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-12	公开/公告号	CN102823331A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/24 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;4查看分类表>
申请人	视觉动力控股有限公司	申请人地址	荷兰艾恩德霍芬变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	视觉动力控股有限公司	当前权利人	视觉动力控股有限公司
发明人	保卢斯·佩特鲁斯·玛利亚·布洛姆;阿尔昆·阿方斯·伊丽莎白·史蒂文斯;劳伦西亚·约翰娜·回吉布雷格特斯;雨果·安东·玛丽·德哈恩;安东尼尔斯·休伯特斯·万斯基恩戴尔;埃德温·特斯莱格特;尼古拉斯·克尼里斯·约瑟夫斯·万海宁根;汤姆·惠斯卡姆普
代理机构	北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司	代理人	余朦;施蕾

摘要

用于在衬底附近产生用于图案化衬底表面的等离子体放电的设备，包括：具有第一放电部分的第一电极和具有第二放电部分的第二电极、在第一电极和第二电极之间产生高电压差的高压源、和相对于衬底定位第一电极的定位装置。该设备还具有中间结构，在使用时，该中间结构设置在第一电极和衬底之间，同时相对于衬底定位第一电极。

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