加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

显影方法与显影设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910225941.4
  • IPC分类号:G03F7/30;G11B7/26
  • 申请日期:
    2009-11-23
  • 申请人:
    索尼碟片数位解决方案股份有限公司
著录项信息
专利名称显影方法与显影设备
申请号CN200910225941.4申请日期2009-11-23
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-06-16公开/公告号CN101738876A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/30IPC分类号G;0;3;F;7;/;3;0;;;G;1;1;B;7;/;2;6查看分类表>
申请人索尼碟片数位解决方案股份有限公司申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人索尼碟片数位解决方案股份有限公司当前权利人索尼碟片数位解决方案股份有限公司
发明人青木忠久
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人彭久云
摘要
本发明提供了一种显影方法和一种显影设备。显影方法包括如下步骤:在转盘上设置抗蚀剂基板,抗蚀剂基板包括基板、形成在基板上的无机抗蚀剂层和通过曝光形成的潜像;释放显影剂到无机抗蚀剂层的上表面上的显影剂涂布位置,同时转动转盘,显影剂涂布位置远离抗蚀剂基板的中心;用激光辐照无机抗蚀剂层的上表面上的监测位置,监测位置与显影剂涂布位置不同;以及连续释放显影剂,同时检测无机抗蚀剂层的上表面反射的激光的零级光和一级光的光量,并且监测一级光对零级光的光量比,直到光量比变为预定值。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供