具有对称流腔室的对称电感式耦合等离子体源

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专利名称	具有对称流腔室的对称电感式耦合等离子体源
申请号	CN201380033928.3	申请日期	2013-06-05
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-11	公开/公告号	CN104412717A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	A·恩盖耶;K·S·柯林斯;K·拉马斯瓦米;S·拉乌夫;J·D·卡达希;D·A·布齐伯格;A·阿加瓦尔;J·A·肯尼;L·多尔夫;A·巴拉克利斯纳;R·福韦尔
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	黄嵩泉

摘要

一种等离子体反应器具有架空的多线圈感应等离子体源及对称腔室排气，该等离子体源具有对称射频馈电，该腔室排气具有数个支柱穿过排气区域提供出入口至所局限的工作件支座。可包括用于自处理区域遮蔽支柱的空间效应的栅格。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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