一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201410716011.X
IPC分类号：B81C3/00
申请日期：
2014-12-02
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置
申请号	CN201410716011.X	申请日期	2014-12-02
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2015-04-22	公开/公告号	CN104528633A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C3/00 从单独处理过的部件组装装置或系统〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	王蔚;封迪;王喜莲;张国威;刘晓为
代理机构	哈尔滨龙科专利代理有限公司	代理人	高媛

摘要

一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置，包括多功能键合台和电器机箱；所述多功能键合台包括可调基座、加热器下电极、可拆卸上电极组件以及显微镜组件，可调基座包括带上电极支撑架的底座和平面x、y向可调基台，加热器下电极安装在平面x、y向可调基台上；可拆卸上电极组件和显微镜组件安装在上电极支撑架上；所述电器机箱包括高压电源组件、键合监测系统、控温系统，高压电源用于对位于加热器下电极和可拆卸上电极组件之间的待静电键合样品施加键合电压；键合监测系统实时采集键合电流并绘出电流-时间曲线，实时反应静电键合完成情况；控温系统用于对加热器下电极进行控温。该装置具有结构紧凑、小巧、性价比高等优点。

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