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一种载荷重心自适应主动减振系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120454642.0
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2011-11-16
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种载荷重心自适应主动减振系统
申请号CN201120454642.0申请日期2011-11-16
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人陈学东;周振华;蒲华燕;李子龙;徐振高
代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青
摘要
本实用新型公开了一种载荷重心自适应主动减振系统。由三个减振器和一个等边三角形的减振平台所组成;以减振平台的几何中心为圆心,三个减振器呈120度角均布在同一圆周上;减振器包括载荷传感器,用来实现对水平方向的减振的被动减振部件,以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元,主动减振单元和被动减振单元为串联关系,载荷传感器安装在减振器的任意轴向力位置。本实用新型能在载荷重心偏离减振平台几何中心的情况下,保持良好的减振性能。该减振系统除可用于光刻机外,还可用作精密加工设备、精密仪器、光学实验设备、精密医疗设备等的隔振平台。

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