具有三层横梁的MEMS器件

发明专利有效专利

申请号：
CN02826914.4
IPC分类号：H01H57/00
申请日期：
2002-11-08
申请人：
图恩斯通系统公司;维斯普瑞公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有三层横梁的MEMS器件
申请号	CN02826914.4	申请日期	2002-11-08
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2005-05-04	公开/公告号	CN1613128
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01H57/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01H 电开关；继电器；选择器；紧急保护装置（接触电缆入H01B7/10；电解式自断续器入H01G9/18；紧急保护电路装置入H02H；无触点电子开关入H03K17/00） H01H57/00 电致伸缩继电器；压电继电器	IPC分类号	H;0;1;H;5;7;/;0;0查看分类表>
申请人	图恩斯通系统公司;维斯普瑞公司	申请人地址	美国加利福尼亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	维斯普瑞公司	当前权利人	维斯普瑞公司
发明人	肖恩·J·坎宁安;达纳·R·德吕斯;苏巴哈姆·塞特;斯韦特兰娜·塔蒂克－卢奇克
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	王英

摘要

提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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