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形成电组件和存储器胞元的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180055984.8
  • IPC分类号:H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/8242;H01L27/108
  • 申请日期:
    2011-10-14
  • 申请人:
    美光科技公司
著录项信息
专利名称形成电组件和存储器胞元的方法
申请号CN201180055984.8申请日期2011-10-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-07-24公开/公告号CN103222044A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8247IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;7;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0;8查看分类表>
申请人美光科技公司申请人地址
美国爱达荷州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人美光科技公司当前权利人美光科技公司
发明人斯科特·E·西里斯;罗伊·E·米迪
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人沈锦华
摘要
一些实施例包含形成电组件的方法。在第一结构之上形成第一和第二暴露的表面配置,且接着跨越所述表面配置形成材料。在两个或两个以上域当中再分所述材料,其中所述域中的第一者是通过所述第一表面配置诱发,且其中所述域中的第二者是通过所述第二表面配置诱发。接着在所述材料之上形成第二结构。所述材料的所述第一域并入到电组件中。所述第二域可由介电材料替换以在邻近电组件之间提供隔离,或可用作邻近电组件之间的介入区。

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