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激光精密振镜校正准确度检测方法及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310616067.3
  • IPC分类号:G01M11/00
  • 申请日期:
    2013-11-27
  • 申请人:
    大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司
著录项信息
专利名称激光精密振镜校正准确度检测方法及系统
申请号CN201310616067.3申请日期2013-11-27
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-06-03公开/公告号CN104677594A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/00IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市大族数控科技股份有限公司当前权利人深圳市大族数控科技股份有限公司
发明人苏培林;覃涛;吕洪杰;翟学涛;杨朝晖;高云峰
代理机构深圳市世联合知识产权代理有限公司代理人汪琳琳
摘要
本发明提出了一种激光精密振镜校正准确度检测方法及系统,所述方法包括:在至少一振镜扫描区域的边界上放置验证素材,且所述验证素材是至少放置在所述边界相互垂直的两个方向上,在所述验证素材上分别激光加工多个部分标准图形,使得所述部分标准图形进行拼接得到至少一个标准图案,检测拼接后的所述标准图案的完整度是否达到预设值,从而判断振镜校正的准确度。本发明简化了振镜校正后检测验证的过程,提高了检测效率,实现了快速准确地对振镜校正准确度检测验证。

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