激光器芯片腔面目检装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021743375.4
IPC分类号：G01N21/88;G01N21/892
申请日期：
2020-08-19
申请人：
武汉锐科光纤激光技术股份有限公司

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著录项信息

专利名称	激光器芯片腔面目检装置
申请号	CN202021743375.4	申请日期	2020-08-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;8;9;2查看分类表>
申请人	武汉锐科光纤激光技术股份有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区高新大道999号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉锐科光纤激光技术股份有限公司	当前权利人	武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
发明人	费华;胡慧璇;卢昆忠
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	吕伟盼

摘要

本实用新型实施例涉及芯片生产设备技术领域，提供一种激光器芯片腔面目检装置，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；移动测试台包括第一移动平台，第一移动平台与基座可滑动连接，夹具安装于第一移动平台；夹具沿第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于倾斜面；镜筒与显示装置电连接，镜筒的镜口朝向热沉上的芯片的腔面。本实用新型实施例提供的激光器芯片腔面目检装置结构简单，可对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片的腔面进行快速检测，提高生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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