多光束光学厚膜监测仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420621656.0
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2014-10-24
申请人：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	多光束光学厚膜监测仪
申请号	CN201420621656.0	申请日期	2014-10-24
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	杰莱特（苏州）精密仪器有限公司	申请人地址	江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇国泰北路9号金通大厦变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杰莱特（苏州）精密仪器有限公司	当前权利人	杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
发明人	张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸
代理机构	山西五维专利事务所（有限公司）	代理人	雷立康

摘要

本实用新型涉及一种多光束光学厚膜监测仪，它属于一种光学镀膜实时监控设备。本实用新型主要是解决现有的光学膜厚仪存在的监控点少、监控精度低且监控效率差的技术问题。本实用新型采用的技术方案是：多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪、光电探测器、信号放大器、控制计算机、位置触发电路和会聚透镜，其中：它还包括：一个卤钨灯；一个旋转斩光器：旋转斩光器设在一个旋转托盘上并且能以卤钨灯灯丝为中心旋转；至少三个光纤光路：每一个光纤光路由透镜和光纤组成；基板支架：基板支架设在旋转斩光器的下方，监控点设在基板支架上。本实用新型具有监控点多、监控精度高和成本低的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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