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专利名称 | 硅芯切割机工件固定装置 |
申请号 | CN201120252693.5 | 申请日期 | 2011-07-18 |
法律状态 | 权利终止 | 申报国家 | 中国 |
公开/公告日 | | 公开/公告号 | |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | B28D5/04 | IPC分类号 | B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;4查看分类表>
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申请人 | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 | 申请人地址 | 四川省眉山市峨眉山市符北路88号
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权利人 | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 | 当前权利人 | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
发明人 | 陈屹立;张晖;傅明锋;宋亚尼 |
代理机构 | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐宏;吴彦峰 |
摘要
本实用新型公开了一种硅芯切割机工件固定装置,包括装夹在工件外部的中间支撑套、以及放置于工件底部的工件托盘,所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置;本实用新型是一种用于方硅芯切割机固定工件的装置,采用该装置,减小了方硅芯切割过程中线网与工件摆动,同时可固定加工后的方硅芯,避免了加工过程与卸载过程中方硅芯掉落损耗。
1.一种硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:包括装夹在工件(1)外部的中间支撑套(2)、以及放置于工件底部的工件托盘(3),所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置。
2.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述锁紧装置为调节螺丝(4)。
3.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述中间支撑套由两个半圆套组成。
4.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述工件托盘包括底板支架(5)、侧面的支架侧面支撑板(6)、以及底部的底板(7)。
硅芯切割机工件固定装置\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及一种硅芯切割机工件固定装置,减少了切割过程中线网域工件摆动,避免切割中工件产品的损耗。\n背景技术\n[0002] 硅芯切割机是一种将大直径圆柱体硅晶棒切割成小尺寸长方体硅晶棒的设备。该设备使用的刀具是金刚线,金刚线布置在导轮上形成线网,上下平行的两个线网在水平方向交叉90度形成正方形网格状分布。通过导轮主轴带动,金刚线以一定速度在水平方向运转;工件固定于进给平台上,从上往下以一定速度相对线网移动,实现切割过程。一般加工的硅晶体直径范围为145-155mm,长度范围为2.5米至2.8米,重量约为100Kg。以加工长度为2.5米硅晶体为例,加工时间约为15小时。\n[0003] 硅芯切割的方式,相对传统的拉制圆柱体硅晶棒来说,硅芯切割具有加工效率高,能耗低的优势,但该硅芯切割机存在下述技术缺陷:硅晶体一端面通过粘接剂连接在工件板后,整体悬空倒挂于进给平台上的支架上,切割加工过程中金刚线往复式运转,线网受力不断变化,线网与工件摆动较大,易导致粘接剂层脱落造成工件损失。另外,由于工件本身重量较大,而粘接面积有限,长时间加工摆动会导致粘接层脱落,造成损失。\n实用新型内容\n[0004] 本实用新型的目的是针对上述情况,提供一种减少切割过程中线网域工件摆动、避免切割中工件产品损耗的硅芯切割机工件固定装置。\n[0005] 本实用新型的目的通过下述技术方案来实现: \n[0006] 一种硅芯切割机工件固定装置,包括装夹在工件外部的中间支撑套、以及放置于工件底部的工件托盘,所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置。\n[0007] 作为优选方式,所述锁紧装置为调节螺丝。\n[0008] 作为优选方式,所述中间支撑套由两个半圆套组成。\n[0009] 作为优选方式,所述工件托盘包括底板支架、侧面的支架侧面支撑板、以及底部的底板。\n[0010] 本实用新型的有益效果:本实用新型是一种用于方硅芯切割机固定工件的装置,采用该装置,减小了方硅芯切割过程中线网与工件摆动,同时可固定加工后的方硅芯,避免了加工过程与卸载过程中方硅芯掉落损耗。\n附图说明\n[0011] 图1是本实用新型的结构示意图。\n[0012] 图2是本实用新型的中间支撑套的结构示意图。\n[0013] 图3是本实用新型的工件托盘的结构示意图。\n[0014] 图中, 1为工件,2为中间支撑套,3为工件托盘,4为调节螺丝,5为底板支架,6为支架侧面支撑板,7为底板,8为进给单元。\n具体实施方式\n[0015] 下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。\n[0016] 如图所示,一种硅芯切割机工件固定装置,包括装夹在工件1外部的中间支撑套\n2、放置于工件底部的工件托盘3,所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,需根据切割工件直径进行选择,所述中间支撑套由两个半圆套组成,直径范围150mm-200mm,所述中间支撑套上设有锁紧装置,所述锁紧装置为4-6个调节螺丝4,可锁紧一定直径范围的工件。所述工件托盘包括底板支架5、侧面的支架侧面支撑板6、以及底部的底板7。所述底板大于工件直径,工件托盘直径200mm,在切割即将结束时暂停切割,安装工件托盘,将方硅芯固定,所述固定装置采用45号钢,中间支撑套在硅芯切割初期主要是固定支撑作用,减少了线网与工件的摆动;当切割快切割至支撑套时,需将其取下以进一步加工;当切割至尾部时,安装好支撑套,又可稳定线网。\n[0017] 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
法律信息
- 2016-03-16
未缴年费专利权终止
IPC(主分类): B28D 5/04
专利号: ZL 201120252693.5
申请日: 2011.07.18
授权公告日: 2012.04.18
- 2015-10-21
- 2015-03-25
- 2015-02-25
- 2014-02-12
- 2014-02-12
- 2013-07-31
- 2013-06-19
- 2012-12-05
- 2012-04-18
引用专利(该专利引用了哪些专利)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 该专利没有引用任何外部专利数据! |
被引用专利(该专利被哪些专利引用)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 1 | | 2012-05-17 | 2012-05-17 | | |
2 | | 2012-05-17 | 2012-05-17 | | |
3 | | 2014-06-07 | 2014-06-07 | | |
4 | | 2014-06-07 | 2014-06-07 | | |
5 | | 2012-07-31 | 2012-07-31 | | |
6 | | 2012-07-31 | 2012-07-31 | | |