用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210271510.3
IPC分类号：B28D5/04;B28D7/02
申请日期：
2012-07-31
申请人：
昆明冶研新材料股份有限公司

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著录项信息

专利名称	用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
申请号	CN201210271510.3	申请日期	2012-07-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-26	公开/公告号	CN102837370A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;2查看分类表>
申请人	昆明冶研新材料股份有限公司	申请人地址	云南省曲靖经济技术开发区三江大道9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	云南冶金云芯硅材股份有限公司	当前权利人	云南冶金云芯硅材股份有限公司
发明人	李昆;亢若谷;马启坤;王云坤;史冰川;和金生;吕维基;罗以顺;段鑫;黄磊
代理机构	昆明今威专利商标代理有限公司	代理人	赛晓刚

摘要

本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再将多晶硅片料切割成条状硅芯，切割完毕，可以同时得到多根硅芯。采用本发明提供的硅芯制备方法其生产效率明显高于其它制备方法，且在整个切割过程中，所用切割冷却液为自来水或脱盐水，不需要专门配制切割浆料，将切割冷却液经简单处理后进行循环使用，整个生产过程产生的废物仅为硅渣，不会对环境产生不利影响。

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