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一种硅棒或其它晶体材料的切割装置及其方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210152071.4
  • IPC分类号:B28D5/04;B28D7/00
  • 申请日期:
    2012-05-17
  • 申请人:
    洛阳佑东光电设备有限公司
著录项信息
专利名称一种硅棒或其它晶体材料的切割装置及其方法
申请号CN201210152071.4申请日期2012-05-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2012-09-26公开/公告号CN102689370A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B28D5/04IPC分类号B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人洛阳佑东光电设备有限公司申请人地址
河南省洛阳市洛阳经济开发区太康路顺兴信息通信产业区7号楼1楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人洛阳佑东光电设备有限公司当前权利人洛阳佑东光电设备有限公司
发明人赵春燕;赵中州;赵红霞;赵石磊
代理机构洛阳市凯旋专利事务所代理人林志坚
摘要
一种硅棒或其它晶体材料的切割装置及其方法,涉及晶体切割领域,在机架(3)和侧架(10)上分别设置有线网支撑机构(6)、硅棒固定机构(5)、料台机构(1)和张力机构(11),通过将金刚石线在线网支撑机构上反复缠绕形成上下两层切割网,有效避免了硅芯截面走形的现象,同时通过张力机构的设置即有效的保证了线网的平稳切割,又避免了金刚石线在切割过程中发生脱线的现象,本发明通过料台机构和硅棒固定机构的设置,在实现硅棒牢固固定的同时,操作人员还可以任意调整硅棒的垂直度,本发明具有操作简便、效率高、能耗低、价格低廉等优点,有效解决了传统的区熔提拉法生产硅芯速度慢、能耗大等缺点。

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