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用于压印的模具、使用所述模具生产微细结构的工艺、以及生产所述模具的工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN200710007972.3
IPC分类号：G03F7/00;H01L21/00;H01L21/68
申请日期：
2007-02-01
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于压印的模具、使用所述模具生产微细结构的工艺、以及生产所述模具的工艺
申请号	CN200710007972.3	申请日期	2007-02-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-08-08	公开/公告号	CN101013261
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	中村高士;田透
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	赵培训

摘要

一种用于压印的模具，其能够在衬底表面形成具有比模具更大面积的接缝减少或无缝的图案，它包括：第一图案区域，包括多个第一凹陷；以及第二图案区域，包括多个第二凹陷，用于用作对准标记。第一图案区域和第二图案区域在其最外侧表面具有相等的高度。第一凹陷和第二凹陷具有不同的深度。第一图案区域和第二图案区域具有相等的循环间隔。

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