加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种光刻胶涂布及回收装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510244166.2
  • IPC分类号:G03F7/16;G03F7/26;H01L21/67
  • 申请日期:
    2015-05-14
  • 申请人:
    四川虹视显示技术有限公司
著录项信息
专利名称一种光刻胶涂布及回收装置
申请号CN201510244166.2申请日期2015-05-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2015-08-12公开/公告号CN104834185A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6;;;G;0;3;F;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人四川虹视显示技术有限公司申请人地址
四川省成都市高新区(西区)科新西街168号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人四川虹视显示技术有限公司当前权利人四川虹视显示技术有限公司
发明人田朝勇
代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)代理人王伟
摘要
本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置,包括光刻胶容器、光刻胶传输管、光刻胶抽取装置、涂布刮刀、涂布刮刀传输管和动力装置,其特征在于:还包括旋转阀门;所述旋转阀门通过光刻胶传输管与光刻胶容器相连;所述旋转阀门通过涂布刮刀传输管与涂布刮刀相连;所述旋转阀门通过螺纹与光刻胶抽取装置相连;所述动力装置同时与旋转阀门和光刻胶抽取装置相连;所述旋转阀门包括旋转阀芯和旋转阀门内壳,所述旋转阀芯旋转一定角度后,设置于其上的通孔将光刻胶容器和光刻胶抽取装置连通,所述旋转阀芯旋转另一角度后,设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置和涂布刮刀连通。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供