低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010135345.3
IPC分类号：--
申请日期：
2020-03-02
申请人：
扬州大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法
申请号	CN202010135345.3	申请日期	2020-03-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-16	公开/公告号	CN111289772A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	扬州大学	申请人地址	江苏省扬州市开发区大学南路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州大学	当前权利人	扬州大学
发明人	赵成;杨义军;朱骏;郭鹏飞;王健
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	董旭东;陈栋智

摘要

本发明公开了一种低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；底板与空腔结构层通过底板键合环键合，空腔结构层与悬臂梁固支边框通过空腔基板键合环键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，悬臂梁固支边框与顶板通过顶板键合环键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用低深宽比的质量块和空腔结构层，总体结构简单、制备工艺简化、制作方便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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