一种离子注入机用高性能低温泵

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922061965.2
IPC分类号：F04B37/08;F04B39/00
申请日期：
2019-11-24
申请人：
安徽万瑞冷电科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种离子注入机用高性能低温泵
申请号	CN201922061965.2	申请日期	2019-11-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B37/08 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B37/00 专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵 F04B37/06 用热力法抽出 F04B37/08 用冷凝或冷冻，如低温泵（冷阱入B01D 8/00）	IPC分类号	F;0;4;B;3;7;/;0;8;;;F;0;4;B;3;9;/;0;0查看分类表>
申请人	安徽万瑞冷电科技有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区海棠路189号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽万瑞冷电科技有限公司	当前权利人	安徽万瑞冷电科技有限公司
发明人	曾环;邓家良;武义锋;张海峰;冯欣宇;俞杰;韩雨松
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量，具有结构简易、安装方便的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供