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具有高刚度的超薄部件承载件及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910130268.X
IPC分类号：H01L21/48;H01L23/498
申请日期：
2019-02-21
申请人：
奥特斯科技（重庆）有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有高刚度的超薄部件承载件及其制造方法
申请号	CN201910130268.X	申请日期	2019-02-21
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-08-28	公开/公告号	CN111599687A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/48 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕 H01L21/04 至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层〔2〕 H01L21/48 应用H01L 21/06至H01L 21/326中的单一小组都不包含的方法，在器件组装之前制造或处理部件，例如容器〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;4;8;;;H;0;1;L;2;3;/;4;9;8查看分类表>
申请人	奥特斯科技（重庆）有限公司	申请人地址	重庆市江北区鱼嘴镇长和路58号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥特斯科技（重庆）有限公司	当前权利人	奥特斯科技（重庆）有限公司
发明人	睦智秀
代理机构	成都超凡明远知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种制造部件承载件(1)的方法，其中，所述方法包括形成包括导电层结构(2)和至少一个电绝缘层结构(3)的堆叠体；将堆叠体配置为用于在堆叠体的一侧(10)上的较小间距朝向堆叠体的相反的另一侧(11)上的较大间距进行转变的再分布结构；在堆叠体的相反表面区域中布置第一加硬结构(4)和第二加硬结构(5)。本发明还涉及一种部件承载件(1)和一种电气装置。

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