一种化学机械抛光机及其操作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110165328.9
IPC分类号：B24B55/06;B24B27/00;B24B37/30;B24B37/10;H01L21/321;H01L21/67
申请日期：
2020-01-13
申请人：
刘和平

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著录项信息

专利名称	一种化学机械抛光机及其操作方法
申请号	CN202110165328.9	申请日期	2020-01-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-15	公开/公告号	CN112959221A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B55/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B55/00 用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件 B24B55/06 在磨床或抛光机上排除粉尘的装置（B24B 31/12优先）	IPC分类号	B;2;4;B;5;5;/;0;6;;;B;2;4;B;2;7;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;1;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;1;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	刘和平	申请人地址	北京市丰台区北京南站车站路12号北京电务段变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	刘和平	当前权利人	刘和平
发明人	刘和平
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光机及其操作方法，其结构包括机箱、工作台、工件放置座、密封抛光结构、机座、驱动箱，工作台水平安装于机箱上端，工件放置座嵌入安装于工作台内侧，密封抛光结构位于工件放置座正上方，密封抛光结构竖直安装于机座下端，驱动箱嵌入安装于机座内侧，密封抛光结构包括密封结构、连接座、卡板、旋转轴、活动结构，密封结构水平安装于连接座下端，旋转轴竖直安装于卡板上端，活动结构活动连接于连接座上端，本发明在连接座下端设置了密封结构，防止粉尘飘出，进而保护了工作台内侧，使工件放置座的切换更加顺畅；在连杆结构下端设置了密封板，防止粉尘飘出，并且更好的对粉尘进行收集，减少了粉尘的附着。

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