防止晶圆被金属离子污染的方法及系统发明专利
申请号：CN201910440222.8
LOC分类号:H01L21/02
IPC结构图谱：
- C化学；冶金
- C0化学
- C12生物化学；啤酒；烈性酒；果汁酒；醋；微生物学；酶学；突变或遗传工程
- C12N微生物或酶；其组合物（杀生剂、害虫驱避剂或引诱剂，或含有微生物、病毒、微生物真菌、酶、发酵物的植物生长调节剂，或从微生物或动物材料产生或提取制得的物质入A01N63/00；药品入A61K；肥料入C05F）；繁殖、保藏或维持微生物；变异或遗传工程；培养基（微生物学的试验介质入C12Q1/00）〔3〕
- C12N5/06（转入C12N 5/07）
- C12N5/07动物细胞或组织 〔2010.01〕
- C12N5/071脊椎动物细胞或组织，例如人类细胞或组织 〔2010.01〕
- C12N5/077间充质细胞，例如骨细胞、软骨细胞、骨髓基质细胞、脂肪细胞或肌细胞 〔2010.01〕
- C12N5/0775间充质干细胞；脂肪组织源性干细胞 〔2010.01〕
