包含具有酸不稳定侧基的多环聚合物的光刻胶组合物

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专利名称	包含具有酸不稳定侧基的多环聚合物的光刻胶组合物
申请号	CN98808918.1	申请日期	1998-09-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-10-11	公开/公告号	CN1269810
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	B·F·谷德里奇公司	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友电木株式会社	当前权利人	住友电木株式会社
发明人	L·F·罗迪斯;A·贝尔;S·扎亚拉曼;J－H·利比亚恩;B·L·古达尔;R·A·施克
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	刘金辉

摘要

本发明涉及包含光致酸引发剂和多环聚合物的辐射敏感性光刻胶组合物，所述多环聚合物的重复单元包含酸不稳定侧基。通过暴露于成像辐射源，该光致酸引发剂产生一种能够将酸不稳定侧基开裂的酸，从而改变了聚合物的极性。这种聚合物在暴露于成像源的区域中可溶于碱水溶液。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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