传感器装置、传感器装置的制造方法及电子设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201310119640.X
IPC分类号：G01C19/5607;G01C19/5628
申请日期：
2013-04-08
申请人：
精工爱普生株式会社

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著录项信息

专利名称	传感器装置、传感器装置的制造方法及电子设备
申请号	CN201310119640.X	申请日期	2013-04-08
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2013-10-23	公开/公告号	CN103363968A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5607 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5607 使用振动音叉（利用平面振动部件使两端悬浮的双端音叉G01C 19/5719）〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;0;7;;;G;0;1;C;1;9;/;5;6;2;8查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	柴田恒则
代理机构	北京金信知识产权代理有限公司	代理人	黄威;苏萌萌

摘要

本发明提供一种传感器装置、传感器装置的制造方法及电子设备，所述传感器装置能够在降低以相互不同的驱动频率而驱动的多个传感器元件之间的、传感器输出的噪声电平之差的同时，对绕相互交叉方向的多个检测轴的角速度进行检测。本发明的传感器装置（1）具备：对绕z轴的角速度进行检测的传感器元件（30z）、和对绕x轴的角速度进行检测的传感器元件（30x），当将传感器元件（30z）的驱动频率设为fd1，将传感器元件（30x）的驱动频率设为fd2，将传感器元件（30z）的失调频率设为fm1，将传感器元件（30x）的失调频率设为fm2时，满足fd1＞fd2且fm1＜fm2的关系。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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