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封闭式销用陶瓷支板

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320169947.6
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2013-04-07
  • 申请人:
    沈阳拓荆科技有限公司
著录项信息
专利名称封闭式销用陶瓷支板
申请号CN201320169947.6申请日期2013-04-07
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人沈阳拓荆科技有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳拓荆科技有限公司当前权利人沈阳拓荆科技有限公司
发明人吴凤丽;姜崴;朱超群;国建花
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)代理人甄玉荃
摘要
封闭式销用陶瓷支板,主要解决现有的产品结构容易变形、各处支点高低不一的技术问题。本实用新型采用等边三角闭合式,其结构是针对在设备上共设有三处位于等圆周上销的结构形式。该结构形式利用三点决定一个圆,来实现对晶圆的支撑。它包括支板使用侧和支板固定侧。采用陶瓷材料,充分利用了陶瓷强度高,高温变形小等优势。销用陶瓷支板是通过销孔来实现与升降机构的定位,通过安装通孔来实现与升降机构的紧固连接。具有结构相对简单,强度高,性能好的特点。主要应用于半导体镀膜设备中,属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

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