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一种真空抽气系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023279681.X
  • IPC分类号:C23C14/56;C23C16/54;F04B41/06;F04B37/14
  • 申请日期:
    2020-12-29
  • 申请人:
    江苏星浪光学仪器有限公司
著录项信息
专利名称一种真空抽气系统
申请号CN202023279681.X申请日期2020-12-29
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4;;;F;0;4;B;4;1;/;0;6;;;F;0;4;B;3;7;/;1;4查看分类表>
申请人江苏星浪光学仪器有限公司申请人地址
江苏省扬州市高邮市城南经济新区中心大道118号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏星浪光学仪器有限公司当前权利人江苏星浪光学仪器有限公司
发明人张威;周常河;刘年生;丁自强;由玉兴;马帅
代理机构扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙)代理人吴淑芳
摘要
本实用新型提供一种真空抽气系统,包括扩散泵、罗茨泵和机械泵,扩散泵的进气端安装设有高阀,且出气端通过气体管道与罗茨泵的进气端相连通,罗茨泵的出气端通过管道与机械泵连通。本实用新型开门状态下通过机械泵来抽真空,机械泵的抽速约为每小时350立方米,抽速大大提高,大大降低了扩散泵油在炉门打开状态下空气进入而没有及时被抽走导致加速泵油氧化的速率,此改进大大降低了扩散泵油的成本输出,间接增加了镀膜机使用效率。

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