机械手臂

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721886327.9
IPC分类号：B25J15/00;B25J19/02;B25J9/16
申请日期：
2017-12-28
申请人：
德淮半导体有限公司

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专利名称	机械手臂
申请号	CN201721886327.9	申请日期	2017-12-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J15/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J15/00 夹头	IPC分类号	B;2;5;J;1;5;/;0;0;;;B;2;5;J;1;9;/;0;2;;;B;2;5;J;9;/;1;6查看分类表>
申请人	德淮半导体有限公司	申请人地址	江苏省淮安市淮阴区长江东路599号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	德淮半导体有限公司	当前权利人	德淮半导体有限公司
发明人	刘希飞;阚保国;刘家桦
代理机构	上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	孙佳胤

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂。所述机械手臂，包括末端执行器，还包括控制器以及与所述控制器连接的至少一传感器；所述传感器，安装于末端执行器表面，用于检测所述末端执行器与晶圆之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器，连接所述末端执行器、所述传感器，用于判断所述传感器检测到的距离是否小于预设距离，若是，则控制所述末端执行器停止运动。本实用新型防止了机械手臂对晶圆表面的刮伤，确保了晶圆产品的质量以及成品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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