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一种电子束曝光机用电子束静电偏转器控制系统及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110566122.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2021-05-24
  • 申请人:
    北京大学
著录项信息
专利名称一种电子束曝光机用电子束静电偏转器控制系统及方法
申请号CN202110566122.7申请日期2021-05-24
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-24公开/公告号CN113296372A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人北京大学申请人地址
北京市海淀区颐和园路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京大学当前权利人北京大学
发明人朱瑞;徐军;刘亚琪;张振生;俞大鹏
代理机构北京万象新悦知识产权代理有限公司代理人王岩
摘要
本发明公开了一种电子束曝光机用电子束静电偏转器控制系统及方法。本发明采用主控制器、静电偏转信号控制器和静电偏转信号发生器,实现了静电偏转器的系统控制,采用层级控制关系,通过层级的控制信号传递控制参数,系统采用统一的通讯协议和接口,用户可仅掌握顶层控制命令即可实现系统操控;静电偏转信号发生器中信号的线性放大增益可调,使得系统功能设计和性能调整具有很大的自由度;此外,系统在控制参数作用下,将原始的扫描信号实时转化生成为静电偏转器各个偏转电极上施加所需的高压偏转信号,保证了扫描信号生成速度,实现了各个偏转电极上高压偏转信号的系统控制。

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