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一种薄膜晶体管的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710569319.X
  • IPC分类号:H01L29/786;H01L21/336
  • 申请日期:
    2017-07-13
  • 申请人:
    南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种薄膜晶体管的制造方法
申请号CN201710569319.X申请日期2017-07-13
法律状态驳回申报国家暂无
公开/公告日2017-11-21公开/公告号CN107369715A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/786
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司申请人地址
江苏省南京市栖霞区南京液晶谷天佑路7号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京中电熊猫平板显示科技有限公司,南京中电熊猫液晶显示科技有限公司,南京华东电子信息科技股份有限公司当前权利人南京中电熊猫平板显示科技有限公司,南京中电熊猫液晶显示科技有限公司,南京华东电子信息科技股份有限公司
发明人郝光叶;简锦诚;戴超;周刘飞;王志军
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供一种型薄膜晶体管的制造方法,方法包括如下步骤:依次沉积半导体层、金属层;在金属层上方涂布光阻层;对光阻层进行曝光处理,图案化光阻层,其中一部分形成薄光阻层,其余部分形成厚光阻层或者无光阻层;第一次刻蚀,刻蚀金属层和半导体层,去除无光阻层覆盖的部分;灰化光阻层,去除薄光阻层,暴露出位于薄光阻层下方的金属层;第二次刻蚀,刻蚀金属层,形成源极、漏极以及沟道区,暴露出位于沟道区的半导体层;去除光阻层。本发明通过提出一种制造方法,减少了一道光罩数,降低了薄膜晶体管的制造成本的,优化了工艺流程。

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