加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

APCVD炉管复机保养方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310177643.9
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2013-05-14
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称APCVD炉管复机保养方法
申请号CN201310177643.9申请日期2013-05-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-11-19公开/公告号CN104152867A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人沈建飞
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明公开了一种APCVD炉管复机保养方法,包括如下步骤:步骤一,TLC净化,利用O2结合DCE清除炉管内及位于炉管内的晶舟上的金属离子;步骤二,湿氧净化,用于去除炉管内及位于炉管内的晶舟上的DCE残留;步骤三,O2烘烤,用于去除炉管内及位于炉管内的晶舟上的水汽和有机物。通过在TLC净化步骤后面增设湿氧净化步骤,可以有效去除TLC步骤中DCE残留,尤其是DCE中的氯离子残留;通过O2烘烤步骤,可以去除炉管内的水汽和有机物,从而既可以去除金属离子和有机物,又可以有效防止DCE残留和水汽对后续薄膜厚度的影响提高了产品的良率,并且本发明提供的方法比现有的保养方法效率高、成本低。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供