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高纯流体介质增压装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110829013.X
  • IPC分类号:F04C18/08;F04C29/00;F04C29/04;F04C29/12;F04C28/28
  • 申请日期:
    2021-07-22
  • 申请人:
    上海交通大学
著录项信息
专利名称高纯流体介质增压装置
申请号CN202110829013.X申请日期2021-07-22
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-09-28公开/公告号CN113446216A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04C18/08IPC分类号F;0;4;C;1;8;/;0;8;;;F;0;4;C;2;9;/;0;0;;;F;0;4;C;2;9;/;0;4;;;F;0;4;C;2;9;/;1;2;;;F;0;4;C;2;8;/;2;8查看分类表>
申请人上海交通大学申请人地址
上海市闵行区东川路800号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海交通大学当前权利人上海交通大学
发明人张涛;刘江来
代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人张宁展
摘要
一种高纯气体的增压装置,包括制冷系统、载冷剂储罐及循环系统、高纯介质通路和液体增压泵,高纯气体进入本发明增压装置后,首先被输出介质冷却,然后被制冷系统进一步冷却,确保液化及一定的过冷度,防止齿轮泵工作过程出现气蚀,增压后的高纯液体介质被输入介质加热气化,气化过程压力不变,实现了气体介质的增压。本发明把液体增压泵的应用范围从液体扩展到气体,可以获得大流量高压力的气体。本发明使用方便,寿命长,适用于高纯气体的增压场合。

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