具有单晶部件和金属部件的微型机电装置,以及相关制造方法

提供一种微型机电(MEMS)装置(10),它包括一个微电子衬底(40),一个微型致动器(20),安排在该衬底(40)上,并且由单晶材料形成,和至少一个金属结构(30),安排在邻近微型致动器(20)的衬底(40)上,以便该金属结构(30)和微型致动器(20)大致在相同平面上,并且由此致动。例如,该MEMS装置可以是微型继电器(10)。照这样,微型继电器(10)可以包括一对金属结构(32,34),它们由微型致动器的选择致动而可控制地成为接触。虽然MEMS装置能包括各种各样的微型致动器,但是微型致动器的一个实施例是热致动的微型致动器,它有利地包括一对安排在衬底上的隔开的支持件,和至少一个在它们之间延伸的拱形梁(24)。通过加热微型致动器(20)的至少一个拱形梁(24),拱形梁(24)将进一步起拱。在一个选择实施例中,微型致动器是静电微型致动器,它包括一个静止的定子和一个可移动的梭子。在定子与梭子之间施加电偏置,引起梭子相对定子移动。因此,在致动时,微型致动器在一个第一位置与一个第二位置之间移动,在第一位置,微型致动器与至少一个金属结构隔开,而在第二位置,微型致动器可操作地啮合至少一个金属结构。还提供了几种制造具有单晶部件和金属部件两者的MEMS装置的有利方法。