基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器

发明专利有效专利

申请号：
CN201910820221.6
IPC分类号：G02B5/00;G02B5/20
申请日期：
2019-09-01
申请人：
桂林电子科技大学

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专利名称	基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器
申请号	CN201910820221.6	申请日期	2019-09-01
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-17	公开/公告号	CN110579826A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;0;0;;;G;0;2;B;5;/;2;0查看分类表>
申请人	桂林电子科技大学	申请人地址	广西壮族自治区桂林市桂林金鸡路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	桂林电子科技大学	当前权利人	桂林电子科技大学
发明人	肖功利;张开富;杨宏艳;杨秀华;杨寓婷;李海鸥;张法碧;傅涛;李琦;刘兴鹏
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器。在本发明实例中，金属薄膜采用金属银材料制成，整体为矩形的金属薄膜，主要包括金属膜以及开设在金属膜上的矩形阵列结构。该矩形腔阵列由入射波导、中间波导和出射波导组成。谐振腔由单元结构为矩形的阵列构成，每个矩形腔可以形成一个F‑P腔。通过调控矩形个数n、波导的宽度W、矩形腔的长度L等几何参数，实现对光波进行一个或者多个不同波长的光波滤波，和阻带宽度的有效调节。对比与其他结构的SPPs滤波器而言，这个结构拥有着更简洁的工艺以及较小的能量损耗，可以作为简单的光学设备应用于高集成的光电集成电路中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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