涂布装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920198740.9
IPC分类号：B05B13/02;B05D3/02;B05B12/08
申请日期：
2019-02-14
申请人：
德淮半导体有限公司

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著录项信息

专利名称	涂布装置
申请号	CN201920198740.9	申请日期	2019-02-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05B13/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05B 喷射装置；雾化装置；喷嘴（有喷嘴的喷射混合机入B01F 5/20；用喷射使液体或其他流体涂布于表面的方法入B05D）〔2〕 B05B13/00 不包含在B05B 1/00至B05B 11/00各组中的，用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备（一般对表面涂布液体或其他流体的工艺入B05D；为此目的供给或排射液体或其他流体的装置，参见B05B 1/00至B05B 12/00的相关组）〔3〕 B05B13/02 支撑工件的装置；喷头的配置或安装；进给工件装置的改进或配置（B05B 13/06优先）	IPC分类号	B;0;5;B;1;3;/;0;2;;;B;0;5;D;3;/;0;2;;;B;0;5;B;1;2;/;0;8查看分类表>
申请人	德淮半导体有限公司	申请人地址	江苏省淮安市淮阴区长江东路599号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	德淮半导体有限公司	当前权利人	德淮半导体有限公司
发明人	徐猛;古哲安;黄志凯;叶日铨
代理机构	上海立群专利代理事务所（普通合伙）	代理人	杨楷;毛立群

摘要

本实用新型涉及半导体设备领域，提供了一种涂布装置，能够提高涂布材料的利用效率，同时提高涂布的均匀性。具体地，该涂布装置包括壳体；加热板，相对于壳体保持固定，配置以对其上放置的晶圆进行加热；支臂，具有一个或多个沿支臂长度方向设置的喷嘴，该支臂能够沿平行于加热板的平面扫描运动，其扫描运动经过的区域在加热板平面的投影完全覆盖晶圆。本实用新型提供的涂布装置通过支臂上设置的喷嘴，在晶圆上方扫描喷涂，使得涂布更加均匀，同时减少了材料的用量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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