归位处理的龙门平台正交性误差测量方法和误差补偿方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010290658.2
IPC分类号：--
申请日期：
2010-09-14
申请人：
循环工程株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	归位处理的龙门平台正交性误差测量方法和误差补偿方法
申请号	CN201010290658.2	申请日期	2010-09-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-20	公开/公告号	CN102023021A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	循环工程株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	循环工程株式会社	当前权利人	循环工程株式会社
发明人	高秉官
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	朱海煜;王忠忠

摘要

本发明涉及与半导体、FPD设备或精密加工设备一起使用的用于归位处理的龙门平台正交性误差测量方法和误差补偿方法，其具有提高的归位处理可重复性水平和在龙门平台归位处理时最小化正交性误差的能力。根据本发明用于归位处理的龙门平台正交性误差测量方法和误差补偿方法包括下列步骤：解码并且存储结构上匹配正交性的龙门平台的当前位置的编码器值的步骤；监测分别设置在龙门平台的主轴和从轴上的用于归位处理的传感器或编码器索引信号、同时龙门平台以低速被驱动的步骤；以及在检测到索引信号的情况下，解码感知位置的主轴或从轴的线性编码器值的阶段。本发明的方法利用设置在平台上的编码器和用于归位处理的传感器；因此，它能够降低制造成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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