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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

硅片自动下料设备

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220415728.7
  • IPC分类号:B65G37/00;B65G49/07;B65G43/08;B65G47/52;B65G47/31
  • 申请日期:
    2012-08-21
  • 申请人:
    库特勒自动化系统(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称硅片自动下料设备
申请号CN201220415728.7申请日期2012-08-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G37/00IPC分类号B;6;5;G;3;7;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7;;;B;6;5;G;4;3;/;0;8;;;B;6;5;G;4;7;/;5;2;;;B;6;5;G;4;7;/;3;1查看分类表>
申请人库特勒自动化系统(苏州)有限公司申请人地址
江苏省苏州市兴吴路71号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人库特勒自动化系统(苏州)有限公司当前权利人库特勒自动化系统(苏州)有限公司
发明人戴秋喜;查俊
代理机构北京金信立方知识产权代理有限公司代理人黄威;郭迎侠
摘要
本实用新型公开了一种硅片自动下料设备,包括:用于传送来自于湿制程设备的硅片的第一传送机构,其包括第一传送带;传送方向与第一传送机构相同且分别与第一传送带对接的第二传送带和第三传送带;与第三传送带对接且传送方向相同的第二传送机构,用于将硅片送至下料区;用于感应硅片到达第二传送带和第三传送带时的第一传感器;用于感应硅片到达所述转角传送装置时的第二传感器;用于感应硅片到达第二传送机构的第三传感器。本实用新型的硅片自动下料设备,能大大提高产能,效率高,降低了劳动强度,也降低了成本,同时该设备易于制造和安装。

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