等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201811027250.9
IPC分类号：H05H1/28;H05H1/34;B08B7/00
申请日期：
2018-09-04
申请人：
深圳杜摩韦尔工程技术有限公司

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专利名称	等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统
申请号	CN201811027250.9	申请日期	2018-09-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-14	公开/公告号	CN109005634A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/28 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/26 等离子体喷管〔2〕 H05H1/28 冷却装置〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;2;8;;;H;0;5;H;1;/;3;4;;;B;0;8;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳杜摩韦尔工程技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区光明街道白花洞第一工业区华尔特工业园D栋B303 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳杜摩韦尔工程技术有限公司	当前权利人	深圳杜摩韦尔工程技术有限公司
发明人	许天保;刘芸芸
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	董建林

摘要

本发明公开了一种等离子喷枪，包括喷嘴、等离子腔室、通气管道、冷却气管和工艺气体管；喷嘴、等离子腔室和通气管道依次连接，冷却气管与通气管道连通，通气管道的外壁上设置有冷却气排气孔，工艺气体管穿过通气管道与等离子腔室连通。还公开了旋转靶材等离子处理系统。本发明的等离子喷枪，通过向通气管道通入冷却气，从而克服前端高温向后端蔓延的问题；本发明的系统通过喷枪支撑件调整喷嘴位置，通过旋转靶材支撑件带动旋转靶材转动，实现旋转靶材内部和表面的清洗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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