一种柔性压电超声波换能器

发明专利有效专利

申请号：
CN202110460785.0
IPC分类号：B06B1/06;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58
申请日期：
2021-04-27
申请人：
之江实验室

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种柔性压电超声波换能器
申请号	CN202110460785.0	申请日期	2021-04-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-30	公开/公告号	CN113182157A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B06B1/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B06 一般机械振动的发生或传递 B06B 一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B 1/40，B22C 19/06，B23Q 17/12，B24B 31/06，E01C 19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S 15/00；勘探用地震能的产生入G01V 1/02；机械振动的控制入G05D 19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K 11/00；声波的合成入G10K 15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L 41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入H02K 33/00；利用压电效应、电致伸缩或磁致伸缩的电动机入H02N 2/00；电振荡的产生入H03B；作为谐振电路器件的机电谐振器入H03H；扬声器、传声器、唱机拾音器等声音机电转换器入H04R）〔2〕 B06B1/00 产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备 B06B1/02 利用电能（B06B 1/18，B06B 1/20优先） B06B1/06 用压电效应或用电致伸缩工作的（一般的压电器件或电致伸缩器件入H01L 41/00）	IPC分类号	B;0;6;B;1;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8查看分类表>
申请人	之江实验室	申请人地址	浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	之江实验室	当前权利人	之江实验室
发明人	郭希山;张京;郑音飞
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	邱启旺

摘要

本发明公开了一种柔性压电超声波换能器，包括背衬层、底电极、压电层、顶电极、匹配层。所述背衬层采用掺钨粉的环氧树脂制备；所述底电极制备材料为延展性金属铜，具有柔性特点；压电层材料为锆钛酸铅薄膜，匹配层材料为笼型聚倍半硅氧烷(POSS)改性环氧树脂；顶电极为钛‑铜薄膜。本发明具有带宽大、体积小、可阵列化、易批量制备等优点。本发明的背衬层采用环氧树脂掺钨粉制备，可以减少超声波反射造成的干扰。所述匹配层采用笼型聚倍半硅氧烷(POSS)改性环氧树脂材料，可以提高换能器的频宽，提升超声图像横向分辨率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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