一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710827926.1
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2017-09-14
申请人：
西安交通大学

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专利名称	一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法
申请号	CN201710827926.1	申请日期	2017-09-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-02-16	公开/公告号	CN107703437A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市碑林区咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	韦学勇;王曙东;蒋庄德;赵玉龙
代理机构	西安智大知识产权代理事务所	代理人	贺建斌

摘要

一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法，包括开环测试方法和闭环测试方法，开环测试方法适用于实验室环境中高频体模态谐振器的标定测试；闭环测试方法适用于工业现场中高频体模态谐振器的实际应用；本发明利用半频波静电激振谐振器的原理，将馈穿电流降为二分频，而由谐振器振动产生的动态电流仍为原先频率，二者被分隔在不同的频段，通过外部电路可以将馈穿电流带来的噪声去除，大大提高了谐振器测试的信噪比，进而提高了硅微振荡器的性能参数。

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