一种靶材表面的加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110037143.6
IPC分类号：B24B21/04
申请日期：
2011-02-12
申请人：
北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种靶材表面的加工方法
申请号	CN201110037143.6	申请日期	2011-02-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-08-15	公开/公告号	CN102632447A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B21/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B21/00 使用磨削或抛光带的机床或装置（轻便砂带磨床入B24B 23/06）；以及附件〔4〕 B24B21/04 用于磨削平面	IPC分类号	B;2;4;B;2;1;/;0;4查看分类表>
申请人	北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司	申请人地址	北京市昌平区超前路33号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	有研亿金新材料股份有限公司	当前权利人	有研亿金新材料股份有限公司
发明人	朱晓光;郭力山;杨永刚;何金江;丁照崇;王欣平;吕保国;江轩
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司	代理人	童晓琳

摘要

本发明公开了属于靶材表面加工方法技术领域的一种靶材表面的加工方法，该方法使用机械磨抛设备进行表面加工。本发明提供了加工该种靶材的设备条件，其中使用可调整开口宽度的平行辊轴，辊轴上包裹粒度从20至2000目的水砂纸或布，先使用从粗到细的水砂纸，再使用布，同时使用去离子水进行润滑，对金属材料进行磨抛。磨抛后使用高压去离子水进行表面冲洗。在具体应用中，所述金属材料包括镍、铜、银、钛、铝、钒的一种或多种。本发明对靶材表面要求低，磨抛速率快，无需使用机加工使用的切削液、润滑液，表面无化学反应，应力层薄，整体均匀性高，整体无变形，是一种简单、可靠、经济、高效的适用于大面积、大长度与厚度比例靶材的加工方法。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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