弹性表面波元件及电子设备

1.一种弹性表面波元件，其特征在于，具有：
(a)衬底；
(b)形成于所述衬底上侧的压电体膜；
(c)形成于所述压电体膜上侧的用于产生弹性表面波的电极；
(d)形成于所述电极上并覆盖所述电极，由与所述压电体膜相同的 材料构成的第一被膜；
(e)形成于所述被膜上的第二被膜。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其特征在于，所述压电体 膜及所述第一被膜由氧化锌、钽酸锂、铌酸锂及氮化铝中的任一种构成。
3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件，其特征在于，所述衬 底在其表面具有硬质层，在所述硬质层上形成有所述压电体膜。
4.根据权利要求3所述的弹性表面波元件，其特征在于，所述硬质层 由金刚石、氮化硼及蓝宝石中的任一种构成。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性表面波元件，其特征在于， 将所述被膜的膜厚设为h，所述弹性表面波元件的弹性表面波的波数设为 k时，两者之积kh在0.003以上但在0.2以下。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性表面波元件，其特征在于， 所述衬底具有多晶的硬质层，所述压电体膜是在所述硬质层上形成的多晶 膜。
7.一种弹性表面波元件，其特征在于，具有：
(a)具有硬质层的衬底；
(b)形成于所述硬质层上的压电体膜；
(c)形成于所述压电体膜上侧的用于产生弹性表面波的电极；
(d)形成于所述电极上并覆盖所述电极，热传导率比非晶态SiO2大 的第一被膜；
(e)形成于所述第一被膜上的第二被膜。
8.根据权利要求7所述的弹性表面波元件，其特征在于，所述压电体 膜由氧化锌、钽酸锂、铌酸锂及氮化铝中的任一种构成。
9.根据权利要求7或8所述的弹性表面波元件，其特征在于，所述第 一被膜的热传导率在10W/mK以上。
10.根据权利要求7～9中任一项所述的弹性表面波元件，其特征在 于，所述第一被膜由氧化锌或氮化铝构成。
11.根据权利要求7～10中任一项所述的弹性表面波元件，其特征在 于，将所述第一被膜的膜厚设为h，所述弹性表面波元件的弹性表面波的 波数设为k时，两者之积kh大于0但在0.4以下。
12.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1～11中任一项所述 的弹性表面波元件。

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