加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

薄膜晶体管制作方法、薄膜晶体管以及显示面板

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810946147.8
  • IPC分类号:H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/32
  • 申请日期:
    2018-08-20
  • 申请人:
    深圳市华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称薄膜晶体管制作方法、薄膜晶体管以及显示面板
申请号CN201810946147.8申请日期2018-08-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-01-04公开/公告号CN109148372A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8234
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;7;/;0;8;8;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2查看分类表>
申请人深圳市华星光电技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人TCL华星光电技术有限公司当前权利人TCL华星光电技术有限公司
发明人李金明
代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)代理人黄威
摘要
本发明提供一种薄膜晶体管制作方法、薄膜晶体管以及显示面板,包括:提供一衬底基板;在衬底基板上形成第一栅极以及与第一栅极间隔的第二栅极;在衬底基板上形成栅极绝缘层,栅极绝缘层覆盖第一栅极和第二栅极;在栅极绝缘层上形成半导体层;在半导体层上形成源极层;对源极层以及半导体层进行第一刻蚀处理,以在源极层上形成第一源极和第二源极,并在半导体层上形成漏极以及第一导电沟道和第二导电沟道,第一导电沟道与第一源极连接,第二导电沟道与第二源极连接。在薄膜晶体管制作方法中,薄膜晶体管的漏极更加稳定。并且提高薄膜晶体管的电子迁移速率以及提高了显示面板的分辨率。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供