MEMS电容式麦克风

发明专利有效专利

申请号：
CN201810660834.3
IPC分类号：H04R19/04
申请日期：
2018-06-25
申请人：
歌尔股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	MEMS电容式麦克风
申请号	CN201810660834.3	申请日期	2018-06-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-14	公开/公告号	CN109005490A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04R19/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04R 扬声器、传声器、唱机拾音器或其他声—机电传感器；助听器；扩音系统（产生的声音和频率与电流频率无关的入G10K）〔6〕 H04R19/00 静电传感器 H04R19/04 传声器（H04R 19/01优先）〔3〕	IPC分类号	H04R19/04查看分类表>
申请人	歌尔股份有限公司	申请人地址	山东省潍坊市高新技术开发区东方路2*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	歌尔股份有限公司	当前权利人	歌尔股份有限公司
发明人	邹泉波;董永伟
代理机构	北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	王昭智;马佑平

摘要

本发明公开了一种MEMS电容式麦克风，包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；在衬底上位于真空腔一侧的位置设置有与振膜构成电容器结构的下电极，振膜与下电极之间的电场为100‑300V/μm。本发明的麦克风，可以在真空腔内形成高电场而不会造成击穿的问题，大大提高了本发明MEMS麦克风的灵敏度；真空腔可以降低声阻对振膜振动的影响，提高麦克风的信噪比；另外，由于该结构的MEMS麦克风不需要较大容积的背腔，因此可以大大降低MEMS麦克风的整体尺寸，增强了麦克风的可靠性。