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一种太阳能电池片生产用氮封工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811468310.0
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2018-12-03
  • 申请人:
    江苏中宇光伏科技有限公司
著录项信息
专利名称一种太阳能电池片生产用氮封工艺
申请号CN201811468310.0申请日期2018-12-03
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-03-29公开/公告号CN109545899A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人江苏中宇光伏科技有限公司申请人地址
江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏中宇光伏科技有限公司当前权利人江苏中宇光伏科技有限公司
发明人皇韶峰
代理机构北京盛凡智荣知识产权代理有限公司代理人王勇
摘要
本发明公开了一种太阳能电池片生产用氮封工艺,包括以下步骤:S1、低温沉积:将硅片置入普通的扩散炉中,扩散炉中温度在800℃保持8分钟,在8分钟内向扩散炉内通入大氮和小氮的混合气体,大氮与小氮的体积比为12:1,且大氮的流量为12slm,小氮的流量为1slm;S2、变温沉积:将扩散炉内的温度在5分钟内提升至825℃,在该时间范围内向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体,大氮的流量为12slm,小氮流量为1slm,氧气的流量为0.5slm;S3、高温沉积:在825℃进行5分钟的保温,这个过程中向扩散炉内通入大氮、氧气和小氮的混合气体。该太阳能电池片生产用氮封工艺,不仅能够提升太阳能电池片的转换效率,还能降低生产成本,适合大范围的普及和推广。

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