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机械手换向控制装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510775459.3
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2015-11-15
  • 申请人:
    重庆蓝阳船舶修造有限公司
著录项信息
专利名称机械手换向控制装置
申请号CN201510775459.3申请日期2015-11-15
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-05-24公开/公告号CN106711070A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人重庆蓝阳船舶修造有限公司申请人地址
重庆市涪陵区黎明南路13号金色阳光15-11 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人重庆蓝阳船舶修造有限公司当前权利人重庆蓝阳船舶修造有限公司
发明人夏燊艳;何刚
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了机械手换向控制装置,属于半导体器件制造领域。所述的机械手换向控制装置包括制动气缸(1),旋转轴(2),“L”形旋转件(3),限位柱(4),机械手(5),回转盘(6)和机械手移动架(7)。旋转轴(2)穿过“L”形旋转件(3)的圆孔安装于机械手移动架(7)上,并可借助弹力回复原位,“L”形旋转件(3)安装于旋转轴(2)上。当制动气缸(1)上升时,顶起“L”形旋转件(3)下部下表面,使“L”形旋转件(3)上部内侧面脱离限位柱(4),此时,机械手(5)便可绕回转盘(6)做旋转运动。当制动气缸(1)下降时,“L”形旋转件(3)回复原位,“L”形旋转件(3)上部内侧面压紧限位柱(4),机械手(5)便做直线运动。

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